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CVD系统
产品简介
常规CVD系统由管式炉、流量混合器、真空体统三部分组成。改系统可以满足绝大部分气氛或真空环境下的小样品试验。每个部分都可以单独匹配成不同部件以满足不同的实验条件，如流量计可以选择浮子流量计或质量流量计，单通道或多通道，管式炉可以选择1200℃/1500℃/1700℃单温区或者多温区炉子。
主要参数
型号 | QJ1200-CVD60 | QJ1700-CVD60 |
工作温度 | ≤1100℃ | ≤1600℃ |
升温速率 | 10℃/min | 10℃/min |
气体预热区 | 无 | 200mm |
加热区长度 | 200/440mm | 200/300mm |
恒温区长度 | 100/220mm | 50/100mm |
管径 | 50/6/80/100mm | 50/60/80mm |
控温方式 | 30段PID程序控温 | 30段PID程序控温 |
真空泵 | 机械泵/分子泵 | 机械泵/分子泵 |
真空度 | ≤10-3Pa | ≤10-3Pa |
进气种类 | 1~4种 | 1~4种 |
