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PECVD系统
产品简介
为了降低化学沉积温度，利用了等离子体的活性来促进反应，这种CVD系统称之为等离子体增强型化学气相沉积系统（PECVD），该设备可以根据气体的种类数量、射频功率大小、气体是否需要预热、沉积所需温区随意定制。
主要参数
型号 | QJ1200-PE60 | QJ1200-PE60Y |
工作温度 | ≤1000℃ | ≤1000℃ |
升温速率 | 10℃/min | 10℃/min |
气体预热区 | 无 | 200mm |
沉积区长度 | 200mm | 440mm |
恒温区长度 | 100mm | 220mm |
石英管管径 | 50/60mm | 50/60/80/100mm |
控温方式 | 30段PID程序控温 | 30段PID程序控温 |
射频功率 | 100/300/500W自匹配 | 100/300/500W自匹配 |
射频频率 | 13.56Mhz | 13.56Mhz |
真空泵抽速 | 4L/s | 4L/s |
真空度 | ≤10Pa | ≤10Pa |
进气种类 | 1~4种 | 1~4种 |
功率 | 220V/4kw | 220V/7kw |
